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Das technische Prinzip der das Magnetron Sputtern Beschichtung

Wie sind die Membranmaterialien auf die Teile vernickelt?

Sputter-Prinzip des Plasma-Bombardement

Sputtern ist eng mit unserem Leben verbunden.

Das starke Licht gemacht durch Schweißen oder Bogen---Leuchtstofflampe Beleuchtung (Leuchtstoff an der Ionen oder Elektronen) - Donner am Himmel kann auch produzieren Plasma--CRT Monitore und Plasma release ultraviolettes (uv) Licht, um die Phosphore zu beleuchten.

Sputter-Prinzip

1.Definition: Sputtern bezieht sich auf festen Oberflächen können Partikel bombardiert (Ziel) berechnen, die solide Atome (oder Moleküle) aus der Oberfläche Phänomen zu machen.

2. mit mehr als Dutzende von Elektronenvolt kinetische Energie von den Strahl Bestrahlung solid Surface, geben die Atome in der Nähe der solide Oberflächenenergie und Injektion von der Oberfläche Phänomen

3. Leuchten Entlastung Bedingungen:

* Vakuum für 10 1 ~ 10-2 Torr

* in der Prozessgas (in der Regel die Ar-Gas)

* geeignet für die Spannung.

Die vor- und Nachteile der Magnetron Sputtern Ablagerung

Vorteile:

1.IT kann auf fast jede Beschichtung Membranmaterial des Target-Material verwenden, und kann sein zusammengesetzten mehrschichtigen Membran Beschichtung

2. nach Beschichtungsmittel gute Wiederholung, hohe Kontrollierbarkeit zu verarbeiten

3. höhere Sputtern Atomenergie und einfach zu besseren Gleichmäßigkeit, Stabilität und Dichte Sperrschicht erhalten

Nachteil

1. die filmbildenden ist niedriger als Verdampfung Beschichtung

2. Substrat durch Ionen oder Elektronen Bombardierung, Hochtemperatur, nicht geeignet für Kunststoff-Produkte des niedrigen Schmelzpunktes.

3. die niedrigen Vakuumbeschichtung kurze freie Weglänge und ausländischen Gas Membranschicht betroffen sein.

Sputtern Ziel Materialtypen

Sputtern Targetmaterial nach der Klassifikation der Form: rechteckig planar Ziel nur, kreisförmige planar Target, zylindrische Targetmaterial

Flexibel zu wählen, die Art von Substraten

Die Verfassung Struktur des Vakuum-Beschichtungsanlage

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